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熱線測(cè)速計(jì)敏感元件的基本構(gòu)造
2012-12-15
為了滿足熱線探針使用上的要求，希望熱線的材料具有：
①材料的電阻溫度系數(shù)高，以得到較高的測(cè)量靈敏度；
②材料必須抗腐蝕，以保證有足夠的穩(wěn)定性；
③材料應(yīng)有較高的機(jī)械強(qiáng)度，以防產(chǎn)生振動(dòng)變形而影響測(cè)量精度；
④材科有良好的熱傳導(dǎo)性能．
通常，人們采用能滿足上述要求的鎢絲、鉑絲或鍍鉑鎢絲來(lái)制作熱線探針上的熱絲．
典型的熱線直徑為0．5—10 m，長(zhǎng)度為1—3mm．這個(gè)尺寸主要從兩方面考慮：從提高熱線靈敏度來(lái)說(shuō)，希望熱線直徑越細(xì)、長(zhǎng)度較長(zhǎng)為好，但這樣會(huì)使其機(jī)械強(qiáng)度和空間分辨率降低；從提高空間分辨率來(lái)說(shuō)，希望熱線越短越好，但可能會(huì)影響測(cè)量的靈敏度．
為了將熱敏測(cè)速技術(shù)應(yīng)用到液體流量的測(cè)量，發(fā)展了熱膜探針．它的機(jī)械強(qiáng)度較高，所以能適應(yīng)某些條件較惡劣的流場(chǎng)(如污水流動(dòng)的流場(chǎng)等)．另外，它受振動(dòng)的影響較小，電阻值可以由熱膜厚度調(diào)節(jié)，故較易與放大器匹配，可得到較高的信噪比．它的缺點(diǎn)是測(cè)量頻率范圍較窄，制作工藝復(fù)雜，工作溫度較低，這些均限制了它的應(yīng)用．
熱膜深針由熱膜、襯底、絕緣層和導(dǎo)線幾部分構(gòu)成．熱膜是用鉑噴濺在襯底上形成，厚度一般為0．1—1um左右．襯底是石英或硼酸玻璃做成的圓柱體．為了使熱膜與流體絕緣并防止被污染，在熱膜外還涂有厚度約1um左右的石英絕緣層．
來(lái)源 接地電阻熱像儀 http://m.kafenchem.com/
①材料的電阻溫度系數(shù)高，以得到較高的測(cè)量靈敏度；
②材料必須抗腐蝕，以保證有足夠的穩(wěn)定性；
③材料應(yīng)有較高的機(jī)械強(qiáng)度，以防產(chǎn)生振動(dòng)變形而影響測(cè)量精度；
④材科有良好的熱傳導(dǎo)性能．
通常，人們采用能滿足上述要求的鎢絲、鉑絲或鍍鉑鎢絲來(lái)制作熱線探針上的熱絲．
典型的熱線直徑為0．5—10 m，長(zhǎng)度為1—3mm．這個(gè)尺寸主要從兩方面考慮：從提高熱線靈敏度來(lái)說(shuō)，希望熱線直徑越細(xì)、長(zhǎng)度較長(zhǎng)為好，但這樣會(huì)使其機(jī)械強(qiáng)度和空間分辨率降低；從提高空間分辨率來(lái)說(shuō)，希望熱線越短越好，但可能會(huì)影響測(cè)量的靈敏度．
為了將熱敏測(cè)速技術(shù)應(yīng)用到液體流量的測(cè)量，發(fā)展了熱膜探針．它的機(jī)械強(qiáng)度較高，所以能適應(yīng)某些條件較惡劣的流場(chǎng)(如污水流動(dòng)的流場(chǎng)等)．另外，它受振動(dòng)的影響較小，電阻值可以由熱膜厚度調(diào)節(jié)，故較易與放大器匹配，可得到較高的信噪比．它的缺點(diǎn)是測(cè)量頻率范圍較窄，制作工藝復(fù)雜，工作溫度較低，這些均限制了它的應(yīng)用．
熱膜深針由熱膜、襯底、絕緣層和導(dǎo)線幾部分構(gòu)成．熱膜是用鉑噴濺在襯底上形成，厚度一般為0．1—1um左右．襯底是石英或硼酸玻璃做成的圓柱體．為了使熱膜與流體絕緣并防止被污染，在熱膜外還涂有厚度約1um左右的石英絕緣層．
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